【島津製作所】環境負荷を軽減したターボ分子ポンプの最新モデルを発売

島津製作所は、2022年1月10日に真空蒸着装置※1やスパッタリング装置※2が用いられる薄膜コーティング用途向けのターボ分子ポンプ「TMP-V4404LMW形」を国内外で発売します。2015年発売の従来機種「TMP-XZ4304LM形」と比べて、排気速度を向上させることでより高品質な成膜が可能になりました。起動時間の短縮や防水性能・安全性、省資源につながる製品重量の軽減、消費電力の低減も実現しました。

※1 真空中で成膜材料を加熱して、蒸発・昇華させ、金属表面に蒸発・昇華した粒子を付着させて薄膜を形成する装置 ※2 真空中で成膜材料にイオン化した不活性ガスを高速で衝突させて、成膜材料の粒子を弾き出し、金属表面に粒子を付着させて薄膜を形成する装置

[SHIMADZU] 環境負荷を軽減したターボ分子ポンプの最新モデル 薄膜コーティング用途向けに「TMP-V4404LMW形」を発売 | 2021年 | ニュース | 島津製作所